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在半导体工艺中,poly是什么工艺?最好详细点,谢谢

期待你的回答,谢谢 yoyoge是我 | 发布于2016-02...21 具备哪些知识可以成为一名优秀的半导体工艺工程师...2011-06-10 小...

多晶硅

字面意思直译就可以,金属刻蚀,poly刻蚀,氧化物刻蚀。 具体工艺条件无法回答,只能简单的说,这3中刻蚀在半导体行业都是干法刻蚀,也就是dry etch。主要区别在于所有的刻蚀气体不一样,比如,金属刻蚀用CL2,氧化物刻蚀用C4F6,C5F8。

在半导体混就别老是想着把英文翻译成中文了 答案同上,门电路

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